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无尘棚的湿度应控制在多少
编辑:苏州维德姆设备科技有限公司   时间:2019-10-18

无尘棚的温湿度主要根据工艺要求确定,但在满足工艺要求的前提下,应考虑人的舒适性。随着空气洁净度要求的提高,对温湿度的工艺要求也越来越严格。具体工艺对温度的要求将在后面列出,但作为一般原理,由于加工精度越来越精细,对温度波动范围的要求越来越小。

 

无尘棚是紊流洁净室空间中用防静电透明塑料布围成的小空间。采用独特的高效高效过滤器和空调送风机组,成为更高的洁净室。其等级为100-10000级,内部空间高度约2-3米,覆盖面积一般在100平方米以内。四根柱子可配活动轮,活动轮具有弹性。申请。

 

无尘棚需要将车间湿度控制在合理范围内,以保证产品合格率和性能。洁净车间的湿度是多少?当湿度过高时,附着在硅片表面的灰尘会被空气中的水分子化学吸附在硅片表面,很难去除。相对湿度越高,去除附着力越困难。然而,当相对湿度低于30%时,由于静电的作用,粒子容易吸附在表面,大量半导体器件容易发生击穿。硅片生产的较佳湿度范围为35-45%。

 

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